激光干涉儀

激光干涉儀主要特色與效益1.品質(zhì)管制維護2.系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單、重量輕3.自動數(shù)據(jù)采集4.激光準確度經(jīng)由NIST認證5.毋須三腳架及干涉鏡6.WindowsTM軟件7.RS-232接口8.自動環(huán)境補償9.支持NMTBA、、ISO及ASMEB5.54標準主要應用1.品質(zhì)管制維護2.超精密定位3.CNC機床、CMM、導螺桿及DRO直線校驗激光干涉儀的技術(shù)參數(shù):最大量程100000mm準確度1μm/M；分辨率0.01μm最高工作速度2400M/min 詳細介紹>>