國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)SJ6000激光干涉儀

SJ6000激光干涉儀采用美國進(jìn)口高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，實現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，結(jié)合線性鏡組能實現(xiàn)0.5ppm精度的線性測量；結(jié)合相應(yīng)鏡組還能實現(xiàn)角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的測量，并進(jìn)行動態(tài)分析。SJ6000激光干涉儀性能特點：1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好①使用美國高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達(dá)nm級③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達(dá)到4m/s。④配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度⑤分離式干涉鏡設(shè)計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變2.應(yīng)用范圍廣①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)。 詳細(xì)介紹>>