S5U-PH激光干涉儀
S5U-PH激光干涉儀為3D屏及全面屏攝像孔檢測(cè)而定制，可以滿足條紋非常密集、超大像差（PV值非常大）狀況下的準(zhǔn)確測(cè)量。
一、儀器規(guī)格參數(shù)
S5U-PH激光干涉儀為3D屏及全面屏攝像孔檢測(cè)而定制，可以滿足條紋非常密集、超大像差（PV值非常大）狀況下的準(zhǔn)確測(cè)量。
儀器規(guī)格參數(shù)表
硬件部分：
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產(chǎn)品型號(hào)
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S5U-PH
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產(chǎn)品名稱
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5mm正立式激光干涉儀
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測(cè)試口徑
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Φ5mm
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輔助對(duì)準(zhǔn)口徑
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Φ30mm
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標(biāo)準(zhǔn)鏡面形精度
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λ/20
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光源
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進(jìn)口半導(dǎo)體激光器（635nm)
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光路切換
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輔助觀察（Φ30mm大視場(chǎng)）與測(cè)試（Φ5mm小視場(chǎng)）模式電控切換
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電源
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AC220V50HZ
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軟件部分：
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軟件名稱
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移相算法（簡(jiǎn)稱PH）
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分析項(xiàng)目
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透過波前PV值、平行度Tilt值等
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測(cè)試重復(fù)性
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PV：0.01λ RMS:0.003λ
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測(cè)試允許誤差
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PV<1λ時(shí) PV：0.05λ Tilt：0.25fr（零場(chǎng)調(diào)整為1根條紋）
1λ<PV<2λ時(shí) PV：0.1λ Tilt：0.5fr（零場(chǎng)調(diào)整為1根條紋）
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測(cè)試時(shí)間
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1.5秒
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注：聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)說是在“傲立機(jī)床網(wǎng)”上看到的，謝謝！
